智能壓力變送器包括電容式壓力變送器、溫度輸出壓力變送器、濺射薄膜壓力變送器等，以下就介紹濺射薄膜壓力變送器的優(yōu)勢。

     濺射薄膜壓力變送器的優(yōu)勢是壓力敏感元件是壓力變送器（傳感器）的關鍵功能元件。壓力能以各種方法測量，但關鍵基本原理歸結為2類：

 1． 惠斯登電橋配置于彈性膜片上電橋電阻，在壓力作用下發(fā)生形變，有的被拉伸，有的則被壓縮。電阻尺寸變化引起電阻值的變化。因電橋產(chǎn)生差動輸出信號，其值正比于施加的壓力�；菟沟请姌蚩捎山饘匐娮杌驂鹤璨牧蠘嫵�，壓阻電橋由于晶格摻雜效應以及機械變形，能提供較大輸出信號。金屬電阻可采用多種技術將電橋固定于膜片之上。諸如粘接，硅/陶瓷融合，直接分子鍵合。

2． 電容式測量兩片導電板的電容值，在壓力作用下，導電板被迫擠合，使電容值隨壓力的變化而變化。電容式壓力傳感元件采用MEMS技術由陶瓷構成，或將金屬嵌入半導體層中。傳感元件固定（融合）于金屬/玻璃密封體或裝入充油腔中。所有的壓阻和硅技術都存在因摻雜物質遷移和費米能級效應而引起漂移傾向。這些影響隨著溫度的升高而增大。

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